全自主多面手:KMR iisy CR 凈室機器人樹立行業新標桿
面向半導體與電子行業的高效自動化解決方案:KUKA 推出的 KMR iisy CR 是一款多功能自主移動機器人 (AMR),提供 11 公斤和 15 公斤兩種負載級別版本,專為凈室智能應用而設計。該系列凈室專用機型已通過弗勞恩霍夫研究所 (Fraunhofer Institut) 認證,并符合 DIN EN ISO 14644-1 標準規定的 ISO 凈室 3 級要求。
2025年6月17日
面向半導體行業及高敏感度凈室應用的自主移動機器人
KMR iisy CR?由移動平臺和六軸機器人 LBR iisy CR組成,憑借其低顆粒排放特性及 ESD 認證,成為凈室作業的理想移動機械臂解決方案。該設備安裝快捷簡便,可高效低成本地完成倉庫內的拾取放置、物料搬運及碼垛等作業 – 不僅適用于半導體生產,還廣泛應用于電子工業的其他多種領域。?
在認證過程中,弗勞恩霍夫研究所 (Fraunhofer Institut) 還確認了該自主移動機器人具備靜電耗散能力和超低釋氣特性。因此證明其完全符合凈室應用要求。該機器人可自由連接任意數量的工作站,徹底突破了傳統物料運輸方案的局限性。此外,它還能快速切換不同產品,使小批量生產同樣具備成本競爭力。
前瞻性的軟硬件協同解決方案
該平臺采用久經驗證的、基于人工智能的軟件解決方案 KUKA.AMR Fleet 作為車隊管理器,而機器人小臂則運行于 iiQKA.OS2 操作系統。這款可擴展、靈活適配的操作系統配備完整的虛擬機器人控制器 (Virtual Robot Controller、VRC),具備人工智能能力與網絡安全韌性且符合新版 ISO 10218 標準要求,為未來數字化制造提供了理想的技術支撐。因此,不僅僅是硬件設備,其底層軟件同樣源自 KUKA 自主開發,這種“軟硬一體”架構確保了系統組件間的完美協同。這些智能系統能夠協助完成生產中的高難度作業任務。
得益于移動機器人:為精密生產實現最優成本效益比
機械臂六軸均采用自主研發的密封件,確保極低顆粒排放,完全符合 ISO 3 級凈室標準要求。此外,該機器人采用與凈室相容的材料制成,可將氨或碳氫化合物氣體析出量降至最低。該機器人整體符合 DIN EN 61340 標準的導電性要求,可有效保護晶圓等敏感部件免受靜電放電損傷。機器人完成組裝后,將在凈室環境下進行最終清潔處理,隨后交付客戶使用。通過采用凈室設備專用包裝,可確保運輸過程中零顆粒污染。該機器人的表面材質具備耐常規清潔化學劑的特性。
為半導體生產樹立新標桿
憑借靈活的改裝能力,KMR iisy CR?無論是在大批量生產還是在小批量生產中都能創造顯著效益,尤其適用于半導體與電子元器件的精密制造場景。這款凈室移動機器人的典型應用場景包括:安全搬運 FOUP(Front Opening Unified Pods)、SMIF POD 以及開放式晶圓載具。該移動機器人可選配半導體行業標準化接口 E82 和 E84,可輕松集成至現有物料控制系統。
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